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日前
江苏省工信厅公示
2026年江苏省“三首两新”拟认定技术产品清单
两家昆山企业
苏州尊恒半导体、苏州智程半导体的
装备产品成功入选
省级首台（套）装备拟认定名单
值得一提的是
两家企业均是继首次获评之后
再度拿下这一省级重磅荣誉
截至目前
昆山已累计培育60个省级首台（套）项目
数量位居全省县级市前列
彰显出昆山高端装备领域持续向上的创新活力
企业深耕半导体湿法设备领域多年，专注面板级封装整线设备研发制造。此次上榜的垂直龙门显影机（M2408XY083），是拥有完全自主知识产权的国内首创装备，填补了国内大尺寸板级高精度显影设备技术空白。设备面向半导体先进封装、高端PCB制造，可完成大尺寸板级产品显影、水洗等湿法工艺。通过“喷淋+摇摆”复合工艺，精准把控药液各项指标；伺服驱动垂直龙门搬运系统，为国产大尺寸板级工艺生产提供硬核支撑。
企业多年深耕半导体湿制程设备研发制造。其全自动电镀机（VMAX3D）直击先进封装晶圆电镀的“卡脖子”环节，突破国际厂商技术垄断。企业自主攻克流场电场耦合、晶圆边缘电场调控、无气泡润湿等关键技术，可实现铜、镍、金等多种金属镀层加工，适配2.5D/3D先进封装、TSV、RDL等高端工艺。设备电镀均匀性高、运营成本低，具备完整进口替代能力，目前已经完成技术验证走向客户量产，市场应用成效亮眼。
本次入选的两款装备
全部聚焦半导体专用设备赛道
紧扣重点产业创新发展方向
进一步充实昆山高端装备创新产业梯队
也从企业个体的突破
映照出全市高端装备制造业
厚积薄发的创新硬实力
首台（套）重大装备是衡量制造业创新能力的重要标尺，也是培育新质生产力的重要载体。一直以来，昆山把首台（套）装备培育作为推动产业创新的重要抓手，持续厚植创新土壤，引导企业勇闯核心技术“无人区”，鼓励更多本土装备从实验室走向生产线。
下一步
昆山将持续优化产业创新培育生态
加大对关键装备技术攻关的扶持力度
激发企业创新主体活力
不断做强高端装备创新产业集群
为昆山制造业高质量发展
新质生产力加速成长
注入源源不断的科创动能
来源：昆山发布
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